洗浄システム

超音波洗浄装置/ケミカルウエット洗浄装置(RCA等)/枚葉洗浄装置・ライン/スピン洗浄装置/エッチング・剥離洗浄

洗浄関連設備

スピンドライヤー / 高圧ポンプユニット / オゾン水発生装置 / 強アルカリイオン洗浄水生成システムNEWS / 脱気装置 / 超音波音圧計

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ドライプロセス装置

成膜装置(CVD/スパッタ/蒸着) / アニール炉 / ホットプレート炉 / IR・UV炉 / 大気圧プラズマ / 真空ポンプオーバーホール

検査・測定関係

非接触厚み・変位測定装置 / 画像処理検査装置 / Ⅹ線厚み測定装置

加工機

研磨装置(ラップ・ポリッシング)/ 研削盤 / 外形成形装置 / 研磨材リサイクルシステム / 定盤高圧クリーナー

研磨剤リサイクルシステム

自動組立関係

LCD実装工程 / LCDモジュール組立 / 各種自動組立装置(リチウムイオン電池、太陽電池、自動車部品、その他)

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